Piec rurowy PECVD
Piec rurowy PECVD to system pieca rurowego do osadzania w fazie gazowej w plazmie, który składa się z kwarcowej komory reakcyjnej, zasilacza o częstotliwości radiowej, wielokanałowego układu mieszania gazów, jednostki próżniowej i układu kontroli reakcji. Piec wykorzystuje wysokiej czystości włókno glinowe, a powierzchnia jest pokryta importowaną wysokotemperaturową powłoką z tlenku glinu, aby przedłużyć żywotność instrumentu i poprawić wydajność ogrzewania. Przed tradycyjnym chemicznym osadzaniem z fazy gazowej instaluje się urządzenie indukcyjne o częstotliwości radiowej, które ma na celu jonizację gazu reakcyjnego i wygenerowanie plazmy. Wysoka aktywność plazmy przyspiesza reakcję. Ma dobrą jednorodność i powtarzalność, może tworzyć filmy na dużym obszarze, może tworzyć filmy w niskich temperaturach, ma doskonałe pokrycie stopniowe, łatwo jest kontrolować skład i grubość folii oraz łatwo jest go uprzemysłowić. Jest szeroko stosowany w hodowli cienkich warstw, takich jak grafen, tlenek krzemu, azotek krzemu, tlenoazotek krzemu i krzem amorficzny (A-SI: H).
| Rozmiar rury pieca (MM) | Temperatura robocza (°C) | Stopień próżni | Moc (KW) | Napięcie | Elementy grzejne | Szybkość ogrzewania |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0,1MPA 10 PA 6,67*10-4 PA | 3 | 220/380 V | Drut oporowy | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |

-
Wykładzina pieca rzadko ulega uszkodzeniu, ponieważ piec osiągnął niemożliwą do osiągnięcia temperaturę. Zwykle kończy się to niepowodzeniem, ponieważ materiał ogniotrwały został wybrany ze względu na niewłaściwą mieszankę ciepła, składu chemicznego, obciążenia i cykli termicznych. Objawy są znajome: odpryski na rozgrzanej powierzchni, otwarte stawy, skorodowane kotwy i skorupa, która przez miesiące spokojnie zużywa gaz lub prąd. Krótka odpowiedź: wybierz materiał ogn...



