Piec rurowy PECVD
Piec rurowy PECVD to system pieca rurowego do osadzania w fazie gazowej w plazmie, który składa się z kwarcowej komory reakcyjnej, zasilacza o częstotliwości radiowej, wielokanałowego układu mieszania gazów, jednostki próżniowej i układu kontroli reakcji. Piec wykorzystuje wysokiej czystości włókno glinowe, a powierzchnia jest pokryta importowaną wysokotemperaturową powłoką z tlenku glinu, aby przedłużyć żywotność instrumentu i poprawić wydajność ogrzewania. Przed tradycyjnym chemicznym osadzaniem z fazy gazowej instaluje się urządzenie indukcyjne o częstotliwości radiowej, które ma na celu jonizację gazu reakcyjnego i wygenerowanie plazmy. Wysoka aktywność plazmy przyspiesza reakcję. Ma dobrą jednorodność i powtarzalność, może tworzyć filmy na dużym obszarze, może tworzyć filmy w niskich temperaturach, ma doskonałe pokrycie stopniowe, łatwo jest kontrolować skład i grubość folii oraz łatwo jest go uprzemysłowić. Jest szeroko stosowany w hodowli cienkich warstw, takich jak grafen, tlenek krzemu, azotek krzemu, tlenoazotek krzemu i krzem amorficzny (A-SI: H).
| Rozmiar rury pieca (MM) | Temperatura robocza (°C) | Stopień próżni | Moc (KW) | Napięcie | Elementy grzejne | Szybkość ogrzewania |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0,1MPA 10 PA 6,67*10-4 PA | 3 | 220/380 V | Drut oporowy | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |

-
Podstawowa struktura a Piec próżniowy Piec próżniowy składa się z kilku zintegrowanych systemów zaprojektowanych do pracy w kontrolowanych warunkach niskiego ciśnienia. Struktura rdzenia obejmuje komorę próżniową, system grzewczy, zespół izolacyjny, próżniową jednostkę pompującą i system sterowania. Każdy składnik odgrywa określoną rolę w utrzymaniu stabilnego środowiska termicznego i atmosferycznego podczas obróbki cieplnej. Komora próżniowa jest zwykle wykonana ze stali nierdzew...



