System pieca PECVD
Ten produkt to średniej wielkości, odsuwany system PECVD. Ten system pieca rurowego PECVD jest wyposażony w zasilacz plazmowy RF, trójdrożny system mieszania gazów o przepływie masowym (w zakresach 1–100 SCCM, 1–200 SCCM i 1–200 SCCM), otwarty piec rurowy o średnicy 60 mm (z kołnierzem próżniowym i orurowaniem łączącym) oraz pompę mechaniczną.
Informacje o produktach
| Model produktu | System pieca rurowego przesuwnego PECVD —— OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Główne parametry produktu | Zasilanie: 220 V 50/60 Hz; Moc znamionowa: 3,1 kW; Maksymalna temperatura pracy: 1200°C (<0,5 h); Ciągła temperatura pracy: ≤1100°C; Zalecana szybkość ogrzewania: ≤10°C/min; Długość strefy grzewczej: 440mm; Termopara: typu K |
| Główne cechy | Zasilacz RF może osiągnąć wzmocnienie plazmy i znacznie obniżyć temperaturę eksperymentalną; szybki wzrost i spadek temperatury można osiągnąć przesuwając korpus pieca; naprężenie folii można kontrolować za pomocą częstotliwości zasilania RF; stechiometrię można kontrolować poprzez regulację procesu; można osadzać różne materiały, takie jak SiOx, SiNx, SiOxNy i (a-Si:H) |
| Element grzejny | Drut ze stopu żelaza, chromu i aluminium 0Cr21Al6Nb |
| Rozmiar rury pieca | Opcjonalna średnica rurki kwarcowej: Φ60 |
| System kontroli temperatury | Zawiera regulator temperatury YD858; Regulacja PID i samodostrajanie, inteligentne 50-segmentowe programowalne sterowanie z funkcjami alarmu przekroczenia temperatury i przepalenia; dokładność kontroli temperatury: ± 1 ℃ |
| Zasilacz plazmowy RF | Zasilacz RF 300 W; Moc wyjściowa: regulowana w zakresie 0 ~ 300 W; Częstotliwość RF: 13,56 MHz; Automatyczne dopasowanie; Poziom hałasu < 50dB; Metoda chłodzenia: Chłodzenie powietrzem; Napięcie wejściowe: 180 ~ 250 V |
| Interfejs kołnierza uszczelniającego próżniowo | Konfiguracja standardowa: para kołnierzy próżniowych ze stali nierdzewnej i pierścieni uszczelniających z silikonu odpornego na wysoką temperaturę; kołnierze wylotowe to kołnierze trójdrogowe K16, KF25 i Φ8,2; kołnierz wylotowy można podłączyć do adaptera KF25 z mieszkiem i dalej do pompy próżniowej. |
| pompa próżniowa | Zastosuj mechaniczną pompę próżniową z podwójnymi łopatkami obrotowymi TRP-12; stopień próżni może osiągnąć 10-2 tor; akcesoria do podłączenia próżniowego wyposażone są w obejmy KF25 i mieszki ze stali nierdzewnej do podłączenia pieca rurowego i pompy próżniowej |
| System zasilania gazem | Trójdrożny układ mieszania masowego - GYS-3Z; Zasilanie: 220 V 50/60 Hz; Zakresy pomiarowe: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Manometr mechaniczny montowany jest na panelu przednim i podłączony do rury mieszającej; Zakres manometru: -0,1-0,15 MPa; Rozmiar zbiornika mieszającego: Φ80*120mm; Wewnętrzna rura łącząca ma średnicę Φ6,35 |
| Konstrukcja pieca | Korpus pieca można przesuwać w lewo i prawo, a zasilacz RF można przesuwać w lewo i prawo. Korpus pieca i zasilacz RF są zainstalowane na tej samej szynie ślizgowej i wykorzystują tę samą rurkę kwarcową. |
| Standardy certyfikacji i podstawowe komponenty | Podstawowe elementy całej maszyny są zgodne z normami CE, UL, MET i innymi normami certyfikacyjnymi; podstawowe komponenty obejmują komponenty elektryczne ABB, przewody i kable z certyfikatem UL, przyrządy Omega, Yudian, Continental itp. |
Kontakt
Zhejiang Nengcheng Crystal Fibre Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fibre Co., Ltd. Firma została założona w 2015 roku. Jest to profesjonalne przedsiębiorstwo zajmujące się rozwojem i produkcją ultralekkich, energooszczędnych materiałów wysokotemperaturowych oraz sprzedażą eksperymentalnych pieców elektrycznych, przemysłowych pieców elektrycznych i niestandardowych pieców elektrycznych na zamówienie. Profesjonalni System pieca PECVD Producenci i System pieca PECVD FabrykaFirma przestrzega zasady „przetrwanie dzięki jakości, rozwój dzięki reputacji” i kieruje się filozofią biznesową „praktyczność, uczciwość i efektywność”. Zobowiązujemy się do dostarczania kompleksowych i wysokiej jakości rozwiązań w zakresie wyposażenia dla klientów z branż takich jak ceramika, metalurgia, elektronika, szkło i inżynieria chemiczna. Świadczymy również usługi takie jak wypalanie proszków, spiekanie ceramiki i eksperymenty wysokotemperaturowe dla uniwersytetów, instytutów badawczych oraz przedsiębiorstw przemysłowych i wydobywczych. Jednocześnie dążymy do promowania strategicznego rozwoju lekkich, energooszczędnych i przyjaznych dla środowiska włókien tlenku glinu Nengcheng w dziedzinie nowych pieców i staramy się stać się wiodącym na świecie dostawcą zaawansowanych urządzeń wysokotemperaturowych. System pieca PECVD Na zamówienie.
Najnowsze wiadomości
-
Wykładzina pieca rzadko ulega uszkodzeniu, ponieważ piec osiągnął niemożliwą do osiągnięcia temperaturę. Zwykle kończy się to niepowodzeniem, ponieważ materiał ogniotrwały został wybrany ze względu na niewłaściwą mieszankę ciepła, składu chemicznego, obciążenia i cykli termicznych. Objawy są znajome: odpryski na rozgrzanej powierzchni, otwarte stawy, skorodowane kotwy i skorupa, która przez miesiące spokojnie zużywa gaz lub prąd. Krótka odpowiedź: wybierz materiał ogn...
