System pieca PECVD
Ten produkt to średniej wielkości, odsuwany system PECVD. Ten system pieca rurowego PECVD jest wyposażony w zasilacz plazmowy RF, trójdrożny system mieszania gazów o przepływie masowym (w zakresach 1–100 SCCM, 1–200 SCCM i 1–200 SCCM), otwarty piec rurowy o średnicy 60 mm (z kołnierzem próżniowym i orurowaniem łączącym) oraz pompę mechaniczną.
Informacje o produktach
| Model produktu | System pieca rurowego przesuwnego PECVD —— OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Główne parametry produktu | Zasilanie: 220 V 50/60 Hz; Moc znamionowa: 3,1 kW; Maksymalna temperatura pracy: 1200°C (<0,5 h); Ciągła temperatura pracy: ≤1100°C; Zalecana szybkość ogrzewania: ≤10°C/min; Długość strefy grzewczej: 440mm; Termopara: typu K |
| Główne cechy | Zasilacz RF może osiągnąć wzmocnienie plazmy i znacznie obniżyć temperaturę eksperymentalną; szybki wzrost i spadek temperatury można osiągnąć przesuwając korpus pieca; naprężenie folii można kontrolować za pomocą częstotliwości zasilania RF; stechiometrię można kontrolować poprzez regulację procesu; można osadzać różne materiały, takie jak SiOx, SiNx, SiOxNy i (a-Si:H) |
| Element grzejny | Drut ze stopu żelaza, chromu i aluminium 0Cr21Al6Nb |
| Rozmiar rury pieca | Opcjonalna średnica rurki kwarcowej: Φ60 |
| System kontroli temperatury | Zawiera regulator temperatury YD858; Regulacja PID i samodostrajanie, inteligentne 50-segmentowe programowalne sterowanie z funkcjami alarmu przekroczenia temperatury i przepalenia; dokładność kontroli temperatury: ± 1 ℃ |
| Zasilacz plazmowy RF | Zasilacz RF 300 W; Moc wyjściowa: regulowana w zakresie 0 ~ 300 W; Częstotliwość RF: 13,56 MHz; Automatyczne dopasowanie; Poziom hałasu < 50dB; Metoda chłodzenia: Chłodzenie powietrzem; Napięcie wejściowe: 180 ~ 250 V |
| Interfejs kołnierza uszczelniającego próżniowo | Konfiguracja standardowa: para kołnierzy próżniowych ze stali nierdzewnej i pierścieni uszczelniających z silikonu odpornego na wysoką temperaturę; kołnierze wylotowe to kołnierze trójdrogowe K16, KF25 i Φ8,2; kołnierz wylotowy można podłączyć do adaptera KF25 z mieszkiem i dalej do pompy próżniowej. |
| pompa próżniowa | Zastosuj mechaniczną pompę próżniową z podwójnymi łopatkami obrotowymi TRP-12; stopień próżni może osiągnąć 10-2 tor; akcesoria do podłączenia próżniowego wyposażone są w obejmy KF25 i mieszki ze stali nierdzewnej do podłączenia pieca rurowego i pompy próżniowej |
| System zasilania gazem | Trójdrożny układ mieszania masowego - GYS-3Z; Zasilanie: 220 V 50/60 Hz; Zakresy pomiarowe: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Manometr mechaniczny montowany jest na panelu przednim i podłączony do rury mieszającej; Zakres manometru: -0,1-0,15 MPa; Rozmiar zbiornika mieszającego: Φ80*120mm; Wewnętrzna rura łącząca ma średnicę Φ6,35 |
| Konstrukcja pieca | Korpus pieca można przesuwać w lewo i prawo, a zasilacz RF można przesuwać w lewo i prawo. Korpus pieca i zasilacz RF są zainstalowane na tej samej szynie ślizgowej i wykorzystują tę samą rurkę kwarcową. |
| Standardy certyfikacji i podstawowe komponenty | Podstawowe elementy całej maszyny są zgodne z normami CE, UL, MET i innymi normami certyfikacyjnymi; podstawowe komponenty obejmują komponenty elektryczne ABB, przewody i kable z certyfikatem UL, przyrządy Omega, Yudian, Continental itp. |
Kontakt
Zhejiang Nengcheng Crystal Fibre Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fibre Co., Ltd. Firma została założona w 2015 roku. Jest to profesjonalne przedsiębiorstwo zajmujące się rozwojem i produkcją ultralekkich, energooszczędnych materiałów wysokotemperaturowych oraz sprzedażą eksperymentalnych pieców elektrycznych, przemysłowych pieców elektrycznych i niestandardowych pieców elektrycznych na zamówienie. Profesjonalni System pieca PECVD Producenci i System pieca PECVD FabrykaFirma przestrzega zasady „przetrwanie dzięki jakości, rozwój dzięki reputacji” i kieruje się filozofią biznesową „praktyczność, uczciwość i efektywność”. Zobowiązujemy się do dostarczania kompleksowych i wysokiej jakości rozwiązań w zakresie wyposażenia dla klientów z branż takich jak ceramika, metalurgia, elektronika, szkło i inżynieria chemiczna. Świadczymy również usługi takie jak wypalanie proszków, spiekanie ceramiki i eksperymenty wysokotemperaturowe dla uniwersytetów, instytutów badawczych oraz przedsiębiorstw przemysłowych i wydobywczych. Jednocześnie dążymy do promowania strategicznego rozwoju lekkich, energooszczędnych i przyjaznych dla środowiska włókien tlenku glinu Nengcheng w dziedzinie nowych pieców i staramy się stać się wiodącym na świecie dostawcą zaawansowanych urządzeń wysokotemperaturowych. System pieca PECVD Na zamówienie.
Najnowsze wiadomości
-
Wprowadzenie do Próżniowa obróbka cieplna Próżniowa obróbka cieplna to zaawansowany proces metalurgiczny stosowany w celu poprawy właściwości mechanicznych i trwałości elementów przemysłowych. Ogrzewanie materiałów w środowisku próżniowym minimalizuje utlenianie i zanieczyszczenia, co zapewnia precyzyjne i spójne działanie materiału. Technika ta jest szeroko stosowana w branżach takich jak przemysł lotniczy, motoryzacyjny, produkcja narzędzi i elektronika. Zwiększona wytrzymał...
